壓力傳感器不可避免的誤差
在選擇壓力傳感器時,應(yīng)考慮壓力傳感器的精度。有許多因素造成的傳感器的誤差,和4種錯誤,壓力傳感器不能避免被描述如下:
1、靈敏度誤差:誤差大小與壓力成正比。如果該裝置的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的增加函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是一個遞減函數(shù)的壓力。這個錯誤的原因是擴散過程的變化。
2、偏移誤差:由于壓力傳感器在垂直遷移的壓力范圍內(nèi)保持恒定,所以激光調(diào)整和變換的變化會產(chǎn)生偏移誤差。
3,滯后誤差:在大多數(shù)情況下,壓力傳感器的滯后誤差是可以忽略不計的,因為硅晶片具有非常高的機械剛度。一般只需要考慮壓力變化情況下的滯后誤差。
4、線性誤差:這是一個小的影響因素,對壓力傳感器的初始誤差,誤差是物理非線性硅的原因,但與傳感器放大器也應(yīng)包括非線性放大器。線性誤差曲線可以是一個凹曲線或一個凸形曲線稱重傳感器。
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